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PLR3000多軸測量光纖激光尺基于激光干涉測量原理,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域,提供精準、可靠的位置反饋與控制。
GTS空間位置坐標激光跟蹤儀兼顧15μm+6μm/m空間精度與30-80米測量半徑,輕松覆蓋大型、超大型工件全維度測量需求。
GTS系列機器人位姿準確度激光跟蹤測量儀是同時具高精度(μm級)、大工作空間(百米級)的高性能光電測量儀器??梢院投喾N形式的合作目標測頭配合使用,能夠解決大型、超大型工件和大型科學裝置、工業母機等全域高精度空間坐標和空間姿態的測量問題。
PLR3000非接觸高精度測量光纖激光尺用于對精度要求苛刻、環境復雜的場景。比傳統光柵精度高10倍,分辨率達原子層級(10nm=100個原子直徑?。? PLR3000 系列光纖激光尺已在多個客戶端進行精度驗證:用差分干涉(DI)探頭對高精度納米位移臺進行閉環控制,在10mm行程內任意位置實現納米級位置控制精度。
中圖儀器GTS系列0.5μm干涉測距精度激光跟蹤儀可以和多種形式的合作目標測頭配合使用,能夠解決大型、超大型工件和大型科學裝置、工業母機等全域高精度空間坐標和空間姿態的測量問題,廣泛應用在飛機、汽車、船舶、航天、機器人、核電、軌道交通裝備制造行業以及大型科學工程、工業母機的高精密加工和裝配中。
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