中圖儀器PLR3000系列系統(tǒng)級精度激光尺以激光干涉核心技術(shù)+硬核數(shù)據(jù)支撐，分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵，光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時其熱源隔離設(shè)計，保證了更高的穩(wěn)定性，具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點。

一、核心數(shù)據(jù)

1.精度天花板

10nm高分辨率（支持外部拓展），PRO版線性精度達0.2ppm（普通版0.5ppm），穩(wěn)頻精度低至0.02ppm，相當(dāng)于4米測量距離誤差僅0.8μm，滿足納米級生產(chǎn)檢測需求；

2.全場景適配

最大量程4m（可按需拓展），動態(tài)測量速度支持2m/s，覆蓋從靜態(tài)實驗室檢測到高速生產(chǎn)線聯(lián)動的全場景；

3.環(huán)境抗干擾

一體化環(huán)境氣象站實時補償溫度（10-40℃）、氣壓（650-1150mbar）、濕度（0-95%無凝露）影響，實測在-10℃至45℃工況下，數(shù)據(jù)穩(wěn)定性仍保持±0.1ppm以內(nèi)；

4.靈活安裝設(shè)計

激光主機（2.8Kg）與探頭（460-500g）分離，3m鎧裝光纖連接（可定制長度），狹小空間安裝無壓力，阿貝誤差降低60%以上。

三、核心優(yōu)勢

1. 精度碾壓傳統(tǒng)方案

柵距精度是玻璃光柵的3倍，分辨率比鋼帶尺高100倍，環(huán)境適應(yīng)性覆蓋傳統(tǒng)設(shè)備無法應(yīng)對的工況；

2. 靈活定制無門檻

支持單/雙/三軸輸出，可選差分/平面鏡/角錐棱鏡探頭（最高分辨率0.5nm），量程、線纜長度均可定制，適配90%以上復(fù)雜場景；

3. 安裝使用省成本

體積小巧（探頭僅手掌大小），準(zhǔn)直調(diào)整角度達±1.5°，安裝調(diào)試時間縮短50%，無需專業(yè)技術(shù)團隊即可完成部署；

4. 雙重使用價值

PLR3000系列系統(tǒng)級精度激光尺既可作為獨立激光干涉儀測量，也可接入系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)位置反饋控制，一臺設(shè)備滿足多重需求。

四、應(yīng)用案例

1. 半導(dǎo)體制造：光刻機晶圓精準(zhǔn)定位、精密工件臺閉環(huán)反饋，助力芯片制造良率提升

2. 航空航天：發(fā)動機葉片形變檢測、高精度裝配校準(zhǔn)，保障核心部件可靠性

3. 精密加工：數(shù)控機床多軸聯(lián)動位置反饋、微機械元件測量，提升加工精度與效率

4. 科研領(lǐng)域：光學(xué)平臺穩(wěn)定性監(jiān)測、超精密實驗設(shè)備控制，支撐前沿研究數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度

注：產(chǎn)品參數(shù)將隨技術(shù)迭代優(yōu)化，相關(guān)內(nèi)容可能實時更新，恕不另行通知，敬請諒解。

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